扫描电子显微镜：六大系统构造详解

# 扫描电子显微镜
## 电子光学系统
### 电子枪
#### 制造原理
#### 电子发射方式
### 聚光镜
#### 准直功能
#### 强度调节
### 物镜
#### 放大倍数
#### 分辨率
### 样品室
#### 样品固定
#### 温度调控
### 聚焦电子束
#### 聚焦方式
#### 调焦机制
## 扫描系统
### 扫描发生器
#### 扫描模式
#### 参数设置
### 扫描线圈
#### 工作原理
#### 控制精度
### 同步扫描
#### 信号同步
#### 扫描速率
## 信号收集系统
### 电子信号
#### 反射电子
#### 传导机制
### 特征X射线信号
#### X射线生成
#### 信号处理
### 可见光信号
#### 荧光成像
#### 色彩还原
### 电子收集器
#### 收集原理
#### 信号放大
## 图像显示和记录系统
### 信号转换
#### 模拟与数字转换
#### 转换效率
### 扫描像
#### 像素分辨率
#### 图像稳定
### 照相记录
#### 记录介质
#### 照片输出
## 真空系统和电源系统
### 真空系统
#### 真空泵类型
#### 维持真空
### 电源系统
#### 供电稳定性
#### 电压调节
## 电子收集器
### 收集物理信号
#### 信号种类
### 加偏压提高效率
#### 偏压原理
#### 效率评估
### 阻挡不需要的电子
#### 选择性屏蔽
#### 噪声抑制